Thursday 15
Microfabrication

› 11:25 - 11:45 (20min)
Cleaning Surfaces from Nanoparticles with Polymer Film: Impact of Polymer Removal Conditions
Adeline Lallart  1, 2, 3  , Philippe Garnier  1  , Elise Lorenceau  2  , Alain Cartellier  3  , Elisabeth Charlaix  2  
1 : STMicroelectronics
STMicroelectronics, ST microelectronics
2 : Laboratoire Interdisciplinaire de Physique [Saint Martin d'Hères]
Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5588, Université Grenoble Alpes
3 : Laboratoire des écoulements géophysiques et industriels
Université Grenoble Alpes, CNRS : UMR5519

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