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Cleaning Surfaces from Nanoparticles with Polymer Film: Impact of Polymer Removal Conditions
1 : STMicroelectronics
STMicroelectronics, ST microelectronics
2 : Laboratoire Interdisciplinaire de Physique [Saint Martin d'Hères]
Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5588, Université Grenoble Alpes
3 : Laboratoire des écoulements géophysiques et industriels
Université Grenoble Alpes, CNRS : UMR5519
| Subject : | : | oral |
| Topics | : | Fluid mechanics |
| Topics | : | Microfabrication |
| PDF version | : |  PDF version |
